人工晶体学报

作者：曹聪, 刘江高, 折伟林, 范叶霞, 马启司, 李振兴

单位：华北光电技术研究所，北京 100015

关键词：碲锌镉晶体,垂直梯度凝固法,有限元模拟,界面形状控制,组分均匀性,晶体缺陷,

碲锌镉（CZT）是红外探测及核辐射探测领域的重要材料，作为制造下一代超大型阵列探测器的基础性材料受到广泛关注。针对垂直梯度凝固（VGF）法生长直径150 mm碲锌镉晶体过程中的技术难题，采用有限元模拟方法调控晶体生长过程中加热器输出功率，进而实现碲锌镉晶体生长温场调控，获得了全流程凸界面形状的晶体生长工艺，并且成功生长出高质量直径150 mm碲锌镉单晶，所生长晶体支持尺寸为100 mm×100 mm的红外用碲锌镉衬底制备。测试结果显示，碲锌镉晶体组分分布均匀，碲锌镉衬底（111）面摇摆曲线半峰全宽达15″以下，平均位错腐蚀坑密度低于1×104 cm-2。

来源：2026年第3期

《人工晶体学报》期刊编辑部

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