人工晶体学报

作者：王虎, 赵小玻, 闫昊, 卢志辰, 曹艳翠, 张绍锋, 石林, 马鹏飞

单位：1.中材人工晶体研究院（山东）有限公司，济南 250200；2.中核第七研究设计院有限公司，太原 030032；3.中材人工晶体研究院有限公司，北京 100018

关键词：ZnS,气相沉积,数值模拟,气体流型,压力调控,入口优化,生长速率,

本文采用FLUENT软件对化学气相沉积（CVD）硫化锌（ZnS）过程中沉积室内的气体流型展开数值模拟研究。聚焦锌（Zn）蒸气与硫化氢（H2S）气体的流动特性，通过构建沉积室三维物理模型，系统分析不同工艺参数协同作用下气体流场的分布规律。研究重点包括沉积室内压力及原料进气速度等参数下的沉积室气体流型分布、密度流场形态分布、速度流场及温度流场的演化，揭示气体流型对ZnS沉积速率均匀性及材料生长质量的影响机制。结果表明，随着沉积压力从3 000 Pa增至6 000 Pa、喷嘴速度同步提升，沉积室气体流型呈现“紊乱-有序-稳定-失稳”的协同演化趋势。本工作为实现高质量ZnS材料的可控生长提供理论依据与工艺优化方向，对红外光学材料制备具有重要指导价值。

来源：2026年第3期

《人工晶体学报》期刊编辑部

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