人工晶体学报

作者：谷东, 董玲, 杨季薇, 李海平, 李杰, 朱归胜, 徐华蕊

单位：1.桂林电子科技大学材料科学与工程学院，电子信息材料与器件教育部工程研究中心，广西信息材料重点实验室，桂林 541004；2.北部湾大学石油与化工学院，钦州 535011

关键词：ITO/Al/ITO复合薄膜,磁控溅射,红外-可见光兼容隐身,高透过率,载流子迁移率,

基金：国家自然科学基金(62354007);国家自然科学基金(U21A2065);广西科技计划项目(AD23023013);广西科技计划项目(AA21077018);桂林市创新平台和人才计划(20220120-1)

红外-可见光兼容隐身材料因突破单波段隐身材料的局限，能够应对多波段侦察技术而备受关注。本文利用直流磁控溅射制备了具有不同厚度Al间隔层的ITO/Al/ITO复合薄膜。通过多膜层间的表面和界面效应及多波段光学耦合等光学效应协同作用，获得了一种可见光高透过与红外高反射的ITO/Al/ITO复合薄膜。XRD表征结果显示，Al层的插入改善了ITO薄膜的结晶性。良好的晶体结构有助于载流子的运动，与载流子迁移率为11.1 cm2·V-1·s-1的双层ITO薄膜相比，复合薄膜的载流子迁移率提升到24.2 cm2·V-1·s-1。Al层溅射时间9和12 s的复合薄膜的可见光透过率和红外光反射率均大于80%。

来源：2025年第9期

《人工晶体学报》期刊编辑部

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