人工晶体学报

作者：姜博文, 纪为国, 张璐, 范骐鸣, 潘明艳, 黄浩天, 齐红基

单位：1.上海理工大学材料与化学学院,上海 200093; ；2.中国科学院上海光学精密机械研究所,激光晶体研究中心,上海 201800; ；3.中国科学院大学,北京 100049; ；4.杭州光学精密机械研究所,杭州 311400

关键词：β-Ga2O3,导模法,数值模拟,放肩,流场,热场,

基金：国家重点研发计划(2022YFB3503900);中国科学院青年创新促进会(2023254)

导模法生长高质量氧化镓单晶的关键在于放肩过程的稳定性控制,而对称的流场与热场是实现稳定放肩的关键因素之一。本文将数值模拟与实验相结合,通过在保温装置的不同位置分别增设进气管道,对保温腔内气体的对流行为进行调控,从而避免气体涡流对模具上方温场分布的负面影响。研究表明,底部进气显著增强了固液界面附近温场与流场的对称性,并获得了合适的轴向温度梯度40 K/mm,成功实现了晶体生长过程中的对称放肩。本文研究为导模法生长β-Ga2O3单晶系统的设计与优化提供依据。

来源：2025年第3期

《人工晶体学报》期刊编辑部

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