人工晶体学报

作者：韩笋, 李艳

单位：中国矿业大学材料与物理学院,徐州 221116

关键词：VO2,SiO2,溶胶-凝胶法,光学透过率,激光诱导损伤阈值,损伤特性,

基金：中国矿业大学教改项目(2023ZDKT05-210)

本文采用溶胶-凝胶法制备了VO2和VO2-SiO2复合薄膜,并用X射线衍射仪(XRD)和紫外-可见分光光度计对薄膜的相结构和透过率进行了表征。结果表明,制备的VO2为单斜相(B),VO2-SiO2复合薄膜的XRD图谱和VO2类似,薄膜在450~800 nm的光学透过率达到了90%以上。激光诱导损伤阈值(LIDT)测试结果显示,VO2-SiO2复合薄膜的LIDT为3.9 J/cm2,相比VO2薄膜提高了77.3%。通过场发射扫描电子显微镜(FESEM)和台阶仪研究了VO2薄膜和VO2-SiO2复合薄膜的损伤形貌差异,VO2薄膜呈现出熔融型损伤,VO2-SiO2薄膜则呈现出熔融型损伤和应力型损伤的共同特征。此外,构建了不同薄膜的激光诱导损伤模型,揭示了相关损伤特性和内在机制。

来源：2024年第10期

《人工晶体学报》期刊编辑部

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