人工晶体学报

作者：孙德辉, 韩文斌, 李陈哲, 彭立果, 刘宏

单位：1.济南大学前沿交叉科学研究院,济南 250022; ；2.山东恒元半导体科技有限公司,济南 271100; ；3.山东大学晶体材料国家重点实验室,济南 250100

关键词：铌酸锂,8英寸,自然对流,提拉法,折射率脉理,

基金：山东省自然科学基金重大基础研究项目(ZR2021ZD20);国家自然科学基金(51802113);山东省高等学校青创团队计划;中央引导地方科技发展专项资金(YDZX2022074)

铌酸锂单晶薄膜(LNOI)在新一代信息技术中关键通信器件领域的作用日益显著,随着铌酸锂单晶薄膜制备技术和光子集成技术的发展,降低芯片成本、增加芯片集成度是光子集成芯片永恒不变的发展方向,因此迫切需求大尺寸铌酸锂晶体。本文讨论了大尺寸坩埚中熔体自然对流随着液面下降的变化规律,研究了8英寸(1英寸=2.54 cm)铌酸锂Z轴、X轴两个提拉方向的生长特点,获得等径尺寸大于ϕ210 mm×50 mm的8英寸Z轴、X轴铌酸锂晶体。1 mm厚X轴铌酸锂晶圆的透过率显示波长380~3 300 nm光谱的透过率超过了70%,晶片纹影图像显示晶体中存在折射率脉理缺陷。

来源：2024年第3期

《人工晶体学报》期刊编辑部

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