人工晶体学报

作者：杨露, 宋志成, 倪玉凤, 张婷, 魏凯峰, 阮妙, 石惠君, 郑磊杰

单位：青海黄河上游水电开发有限责任公司西安太阳能电力分公司,西安 710010

关键词：TOPCon太阳能电池,选择性发射极,硼扩散,激光,氧化,光电转化效率,

为提升隧穿氧化钝化接触(TOPCon)太阳能电池的光电转换效率,采用硼扩散和激光掺杂的方式形成选择性发射极结构,研究了硼扩散方阻、激光功率输出比、氧化时间等对电池发射极钝化性能的影响。实验结果表明,当扩散方阻为140 Ω/□,氧化温度为1 020 ℃,氧化时间为30 min时,发射极轻掺杂区域(p+)的方块电阻为320 Ω/□,隐开路电压值达到729 mV,暗饱和电流密度为12 fA/cm2。发射极重掺杂区域(p++)的方块电阻为113 Ω/□,隐开路电压值为710 mV,暗饱和电流密度为26 fA/cm2。基于该工艺方案制备的TOPCon电池最高光电转换效率达到24.75%,电池开路电压高达720 mV,短路电流提升30 mA,相比现有TOPCon电池光电转换效率提升了0.26个百分点。

来源：2024年第1期

《人工晶体学报》期刊编辑部

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