人工晶体学报

作者：赵小玻, 韦中华, 张旭, 钱纁, 于浩海

单位：1.山东大学晶体材料研究院,济南 250100;；2.中材人工晶体研究院有限公司,北京 100018;；3.北京中材人工晶体研究院有限公司,北京 100018

关键词：ZnS,ZnSe,化学气相沉积,透过率,吸收系数,缺陷,红外光学材料,

化学气相沉积(CVD)ZnS、ZnSe具有较高的红外透过率及良好的光学、力学性能,是红外军用探测系统首选的红外光学材料。大尺寸、高均匀性ZnS、ZnSe材料的制备是未来研究的重要课题。本文介绍了CVD的原理及在沉积过程中存在的主要问题,阐述了高性能红外材料必备的光学性能,综述和分析了CVD ZnS、CVD ZnSe的研究进展,以及这两种材料主要缺陷形成机理与工艺控制研究。旨在改进生产工艺参数,为批量化制备高性能ZnS、ZnSe材料提供理论参考,以满足其在军事领域上的应用。

来源：2023年第12期

《人工晶体学报》期刊编辑部

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