人工晶体学报

作者：乔鹏飞, 刘康, 代兵, 刘本建, 张森, 张晓晖, 朱嘉琦

单位：1.特种环境复合材料技术国家级重点实验室(哈尔滨工业大学),哈尔滨 150001; ；2.微系统与微结构制造教育部重点实验室(哈尔滨工业大学),哈尔滨 150001

关键词：金刚石,表面终端,能带结构,二维空穴气,肖特基结,紫外探测,

基金：国家自然科学基金(52102163)

5G 通信、能源互联网、新能源汽车、量子技术等高精尖领域对半导体的性能提出了新的更高的要求。第四代半导体金刚石因具有优异的物理化学性能被誉为“终极半导体”,被认为是制备下一代高功率、高频、高温及低功率损耗电子器件最理想的材料。而浅n型掺杂的技术瓶颈一定程度阻碍了金刚石半导体应用的发展。表面终端研究为金刚石功能化的发展提供了新的策略,金刚石通过表面终端实现了场效应晶体管、肖特基二极管、日盲紫外探测器、电子发射器件和近表面色心调控等重要应用,而表面终端发挥作用的机理与其能带结构特点密不可分。本文综述了几种常见终端的能带研究方法,分析其能带的结构特点,结合特点介绍其发挥作用的机理,并进行了总结和展望。

来源：2023年第6期

《人工晶体学报》期刊编辑部

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