人工晶体学报

作者：赵飞云, 任翱博, 巫江

单位：1.电子科技大学,基础与前沿研究院,成都 610054; ；2.电子科技大学,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都 611731

关键词：垂直腔面发射激光器,多结级联,金属有机物化学气相沉积,隧道结,驻波场,窄脉冲测试,

基金：国家重点研发计划(2021YFA1401100);四川省青年科技创新研究团队(20CXTD0090);国家自然科学基金青年项目(52202165);四川省自然科学基金(2022NSFSC0918)

本文针对激光雷达等中、远距离传感应用, 设计并制备了3结905 nm垂直腔面发射激光器(VCSEL)。通过PICS3D软件对多结VCSEL相邻有源区间距和P型分布布拉格反射镜(DBR)对数进行仿真计算,设计了具有2λ的相邻有源区间距和14对P型DBR的3结VCSEL。在此基础上,外延生长和制备了100单元3结905 nm VCSEL阵列,单元氧化孔径为15 μm。在窄脉冲条件下(脉冲宽度 100 ns,占空比 0.05%),该阵列的最大峰值功率达到24.7 W,峰值功率密度为182 W/mm2。

来源：2023年第5期

《人工晶体学报》期刊编辑部

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