人工晶体学报

作者：任怡静, 马新国, 张锋, 陆晶晶, 张力, 王晗

单位：湖北工业大学芯片产业学院,武汉 430068

关键词：BaTiO3薄膜,电光调制器,波导,电光系数,化学气相沉积法,分子束外延法,

基金：国家自然科学基金(51472081);结构化学国家重点实验室科学基金(20210028);湖北工业大学绿色工业引领计划杰出青年基金(JCRC2021003)

BaTiO3凭借其较高的电光系数、优良的压电性质和非线性光学性质,成为制备高性能电光调制器的关键材料。其制备方法、实验条件和衬底的选择等决定了薄膜的质量、生长取向和电光系数等,进而影响电光调制器的传播损耗、半波电压、消光比等性能。本文从电光调制器的工作原理出发,围绕BaTiO3薄膜的制备方法、实验条件和薄膜衬底等,探讨了成膜的取向和质量的影响因素,分析了各个BaTiO3薄膜制备方法的优缺点,论述了波导的结构及参数,并展望了未来优化BaTiO3薄膜制备和波导制作工艺的方向。

来源：2023年第4期

《人工晶体学报》期刊编辑部

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