人工晶体学报

作者：李晖, 高鹏程, 程红娟, 王英民, 高飞, 张弛, 王磊

单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所,天津 300220

关键词：β-Ga2O3晶片,金刚石线锯,切割方向,亚表面损伤层,表面粗糙度,

本文探究了往复式金刚石线锯的工艺参数对β-Ga2O3单晶沿(001)晶面切片时表面质量的影响,从压痕断裂力学理论角度探究了金刚石线锯切割β-Ga2O3单晶过程中磨粒行为和材料去除机理。实验从各向异性角度分析了切割方向对(001)面β-Ga2O3单晶切割片表面质量的影响,并采用SEM和SJ-210粗糙度测试仪探究了工艺参数对金刚石线锯切割后的晶片表面质量的影响。实验结果表明,增大锯丝速度或减小材料进给速度都能降低亚表面损伤层深度及表面粗糙度,有效改善晶片表面质量。

来源：2022年第12期

《人工晶体学报》期刊编辑部

查看人工晶体学报杂志2022年第12期