人工晶体学报

作者：杨成超, 陈亮维, 骆婉君, 梁琦, 宋宏远, 刘斌, 虞澜

单位：昆明理工大学材料科学与工程学院,昆明 650093

关键词：电子背散衍射,晶体结构,晶体取向,晶粒大小,结构表征,数学特征,菊池花样,晶带轴,

基金：国家自然科学基金(51462017,51962017)

电子背散衍射(EBSD)花样揭示了材料的物相成分、晶体结构、晶粒取向、晶粒大小和晶界的信息。EBSD花样非常复杂,通常需要借助专门的计算软件才能解析。本文系统地研究了EBSD花样的数学特征,建立了任意晶体取向与EBSD花样之间的数理关系,推导了面心立方、体心立方和六方晶体的基本晶带轴的理论EBSD花样的数学特征,以及面心立方晶体的(001)<110>取向和(001)<100>取向的理论菊池(Kikuchi)花样特征。在实测EBSD花样的分析中与各晶系各点阵的基本晶带轴的理论EBSD花样特征比较,即通过图像特征对比,就可以直接确定实测EBSD花样所属的晶系、点阵和Kikuchi线交点对应的晶带轴[uvw],再由基本晶带轴的坐标计算出晶体取向,还能提供基本晶面信息,如原子密排晶面在样品中的空间分布,这有利于晶体的变形或生长机理研究。EBSD为单晶芯片质量检验提供了新方法。

来源：2022年第8期

《人工晶体学报》期刊编辑部

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