人工晶体学报

作者：李成明, 任飞桐, 邵思武, 牟恋希, 张钦睿, 何健, 郑宇亭, 刘金龙, 魏俊俊, 陈良贤, 吕反修

单位：北京科技大学新材料技术研究院,新金属材料国家重点实验室,北京 100083

关键词：化学气相沉积,金刚石,色心,超宽禁带,散热,超硬材料,

基金：国家重点研发计划(2018YFB0406500,2016YFE0133200);欧洲地平线Horizon 2020计划(734578);北京科技大学顺德研究生院科研经费(2020BH015)

化学气相沉积(CVD)技术的发展使得金刚石优异的综合性能得以充分发挥,在诸多领域获得应用,并有可能实现跨越式的发展。色心使得金刚石量子加速器初步显示了巨大可行性,包括紫外激光写入窗口等诸多应用场景将金刚石的光、电、热和力学综合优势发挥到了极致,超宽禁带金刚石半导体应用将很快实现,金刚石的散热应用也在不断拓展。本文在总结CVD金刚石的制备方法和性能特点的基础上,根据金刚石的本征特点和应用领域,将其分为量子级、电子级、光学级、热学级和力学级五类,对各类金刚石的研究和应用状况进行了详细阐述,进一步明晰CVD金刚石目前的发展状态,对研判其未来发展趋势有重要意义。

来源：2022年第5期

《人工晶体学报》期刊编辑部

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