人工晶体学报

作者：罗露林, 张洁, 羊新胜, 赵勇

单位：1.西南交通大学超导与新能源研究开发中心,成都 610031; ；2.西南交通大学物理科学与技术学院,成都 610031

关键词：Fe(Se,Te)薄膜,磁控溅射,氩气退火,电输运特性,铁基超导薄膜,

基金：国家自然科学基金(51271155,51377138,51877180);国家重点研发计划(2017YFE0301402);国家高技术研究发展计划 (2014AA032701);四川应用基础研究项目(2018JY0003)

作为一种铁基超导薄膜,Fe(Se,Te)薄膜具有晶体结构简单、所包含的元素较少、易于合成的特点,不仅有利于超导机理研究而且有着潜在的技术应用价值。本文通过磁控溅射在温度为320 ℃的CaF2单晶衬底上制备了Fe(Se,Te)薄膜,并在氩气氛围下进行了退火处理。研究了退火时间对Fe(Se,Te)薄膜的晶体结构、微观形貌、成分组成以及电输运特性的影响。结果表明:Fe(Se,Te)薄膜的结晶性较好,退火有助于消除薄膜样品中的FeSe相,薄膜的晶格常数c对退火不敏感,退火后薄膜晶粒尺寸变大;Fe(Se,Te)薄膜成分与靶材的名义组分存在一定的偏差,退火时间越长,Fe(Se,Te)薄膜表面的颗粒越密集;Fe(Se,Te)薄膜的电阻随温度升高而减小,呈现出半导体特性,退火3 h后电阻明显增大。

来源：2022年第4期

《人工晶体学报》期刊编辑部

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