人工晶体学报

作者：冯家驹, 范亚明, 房丹, 邓旭光, 于国浩, 魏志鹏, 张宝顺

单位：1.长春理工大学,高功率半导体激光国家重点实验室,物理学院,长春 130022; ；2.中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所,苏州 215123; ；3.江西省纳米技术研究院,纳米器件与工艺研究部暨南昌市先进封测重点实验室,南昌 330200

关键词：氮化镓,功率电子器件,封装技术,高电子迁移率晶体管,开关振荡,散热,金刚石,

基金：南昌市科技重大项目(洪科字[2020]201号);南昌市重点实验室建设项目/南昌市半导体先进封测重点实验室(2020-NCZDSY-008)

氮化镓(GaN)高电子迁移率晶体管(high electron mobility transistor, HEMT)以其击穿场强高、导通电阻低、转换效率高等特点引起科研人员的广泛关注并有望应用于电力电子系统中,但其高功率密度和高频特性给封装技术带来极大挑战。传统硅基电力电子器件封装中寄生电感参数较大,会引起开关振荡等问题,使GaN的优良性能难以充分发挥;另外,封装的热管理能力决定了功率器件的可靠性,若不能很好地解决器件的自热效应,会导致其性能降低,甚至芯片烧毁。本文在阐释传统封装技术应用于氮化镓功率电子器件时产生的开关震荡和热管理问题基础上,详细综述了针对以上问题进行的GaN封装技术研究进展,包括通过优化控制电路、减小电感Lg、提高电阻Rg抑制dv/dt、在栅电极上加入铁氧体磁环、优化PCB布局、提高磁通抵消量等方法解决寄生电感导致的开关振荡、高导热材料金刚石在器件热管理中的应用、器件封装结构改进,以及其他散热技术等。

来源：2022年第4期

《人工晶体学报》期刊编辑部

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