人工晶体学报

作者：朱化强, 龙开琳, 刘风坤

单位：1.贵州师范大学物理与电子科学学院,贵阳 550025;；2.贵阳产业技术研究院,贵阳 550081

关键词：氧化铟锡,脉冲激光沉积,真空退火,脉冲数,表面增强拉曼散射,表面等离激元,低成本,

基金：国家自然科学基金(11864007);贵州省科学技术基金(黔科合基础[2020]1Y203);贵州省教育厅职业教育科研项目(GZZJ-Z2020006)

本文采用脉冲激光沉积和真空退火的方法在铝箔上制备氧化铟锡(indium tin oxide, ITO)表面增强拉曼散射(surface-enhanced Raman scattering, SERS)活性基底,并研究了ITO基底的SERS特性。沉积了700、1 000、1 300、1 600、2 000五组脉冲数的基底,测量结果显示薄膜厚度与脉冲数接近线性关系,当ITO薄膜厚度为60.80 nm(脉冲数为1 300)时,拉曼信号的增强程度达到最大值,其拉曼强度是Au基底的2~3倍。研究表明,真空退火能够显著提升ITO基底的拉曼增强效果,不同厚度的ITO薄膜基底均具有明显的SERS增强效果,可以通过控制薄膜厚度对ITO基底进行SERS调控。这些研究结果可为后续ITO材料SERS研究及应用提供参考依据。

来源：2022年第2期

《人工晶体学报》期刊编辑部

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