人工晶体学报

作者：王一, 李志宏, 丁召, 杨晨, 罗子江, 王继红, 郭祥

单位：1.贵州大学大数据与信息工程学院, 贵阳 550025;；2.教育部半导体功率器件可靠性工程中心,贵阳 550025;；3.贵州省微纳电子与软件技术重点实验室,贵阳 550025;；4.贵州财经大学信息学院,贵阳 550025

关键词：In&Al混合液滴,GaAs,液滴外延,表面扩散,分子束外延,纳米结构,

基金：国家自然科学基金(62065003);贵州省自然科学基金(QKH-[2020]1Y271);教育部半导体功率器件可靠性研究中心开放项目(ERCMEKFJJ2019-(08))

采用液滴外延法在GaAs(001)衬底上同时沉积In、Al液滴形成纳米结构,利用原子力显微镜(AFM)对实验样品进行形貌表征,并通过X射线光电子能谱(XPS)与扫描电子显微镜分析In、Al组分比样品表面元素分布。实验结果显示,混合沉积后的表面InAlAs纳米结构密度随着In组分的降低而降低,而单个纳米结构的尺寸变大。SEM与XPS测试结果证明表面的In并没有因为衬底温度过高而全部偏析。根据实验结果推测,In&Al液滴同时沉积到表面形成InAl混合液滴。当液滴完全晶化后纳米结构中心出现孔洞,而产生这一现象的主要原因是液滴向下刻蚀。

来源：2021年第12期

《人工晶体学报》期刊编辑部

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