人工晶体学报

作者：何东, 徐文博, 胡文鹏, 程大伟, 童靓

单位：1.芜湖赛宝信息产业技术研究院有限公司,芜湖 241002;；2.安徽赛宝工业技术研究院有限公司,合肥 230088;；3.工业和信息化部电子第五研究所,广州 511370

关键词：水基溶胶-凝胶,退火温度,YBCO,临界电流密度,缺陷,超导性,

本文研究了退火温度对用水基溶胶-凝胶工艺在LaAlO3 (100) 单晶衬底上沉积的YBCO 薄膜性能的影响。研究发现,随着温度的升高,薄膜的面内取向得到了优化,而薄膜的面外取向则不然。在 789 ℃退火的YBCO薄膜在77 K和0 T条件下的临界电流密度Jc达到了1.7 MA/cm2。而其他温度退火的薄膜的缺陷可能会导致YBCO超导电性变差。然而,这些薄膜中存在的残余应力应变也有助于增强其钉扎力并改善薄膜外加场下的电性能。

来源：2021年第9期

《人工晶体学报》期刊编辑部

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