人工晶体学报

作者：葛梦然, 毕文波

单位：1.山东建筑大学机电工程学院,济南 250101; ；2.山东大学机械工程学院,济南 250061

关键词：单晶硅,切片加工技术,微裂纹损伤,金刚石线锯,机械刻划,

基金：国家自然科学基金(52005301,51775317);山东建筑大学博士科研基金(X20055Z)

单晶硅晶圆衬底的直径增大、厚度减薄和集成电路(IC)制程减小是集成电路领域主流发展趋势。随着集成电路制程减小至5 nm,对单晶硅晶圆衬底质量的要求越来越高。切片加工是晶圆衬底制造的第一道机械加工工序,金刚石线锯切片是大尺寸单晶硅切片加工的主要技术手段。本文介绍了金刚石线锯切片加工的发展趋势和面临的挑战,阐述了以单晶硅刻划加工研究为基础的金刚石线锯切片加工材料去除机制和电镀金刚石线锯三维形貌建模技术,总结了单晶硅切片加工的晶片表面创成机制和裂纹损伤产生机制,展望了单晶硅低裂纹损伤切片加工的工艺措施,指出了单晶硅切片加工技术的发展趋势,对集成电路制造技术的发展具有一定的指导意义。

来源：2021年第5期

《人工晶体学报》期刊编辑部

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