人工晶体学报

作者：李青云, 朱厚彬, 张洪湖, 张秀全, 胡卉

单位：1.山东大学物理学院,济南 250100;；2.山东大学,激光与红外系统集成技术教育部重点实验室,青岛 266000

关键词：铌酸锂,薄膜,离子注入,直接键合,化学机械抛光,

基金：国家重点研发计划(2018YFB2201700,2019YFA0705000)

铌酸锂晶体集电光、声光和非线性光学等物理特性于一身,且透光范围宽,作为一种重要的光学材料被广泛应用于通信、传感等领域。通过离子注入与直接键合的方式制备出的铌酸锂单晶薄膜材料,保留了铌酸锂体材料的优秀物理特性,并且具有高折射率对比度的优点,使光子器件在集成度和性能上都得到了很大程度的提升。本文介绍了铌酸锂薄膜的制备及应用,展示了直径6英寸(1英寸=2.54 cm)的铌酸锂单晶薄膜。将硅单晶薄膜覆盖在铌酸锂单晶薄膜上面,形成一种新型的复合薄膜材料,结合了铌酸锂出色的光学性能和硅出色的电学性能,本文报道了直径3英寸的复合薄膜材料,X射线证明硅薄膜是单晶结构,这种复合薄膜在未来的集成光电芯片中具有应用潜力。

来源：2021年第4期

《人工晶体学报》期刊编辑部

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