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国内刊号：11-2637/O7
国际刊号：1000-985X
发布日期:
作者：曾宪林, 陈伟, 张星, 陈秋华
单位：福建福晶科技股份有限公司,福州 350003
关键词：YVO4晶体,自动控制直径,改进的上称重提拉法,直径积分模式,斜率积分模式,提拉炉,可靠性验证,
本文报道了在自动控制直径条件下大尺寸YVO4晶体的提拉法生长研究。利用改进的上称重法生长大尺寸YVO4晶体,在提拉法单晶生长过程中,晶体扩肩部分采用斜率积分模式,转肩部分采用斜率积分过渡到直径积分模式,等径部分采用直径积分模式,应用这种分段控制方式成功地实现了YVO4晶体的自动化生长。采用4台50型自动化生长炉对YVO4晶体自动化生长工艺进行了长达一年的可靠性验证,预设技术目标为晶体直径大于40 mm,等径部分长度大于30 mm,B级晶体质量达 80%以上,采用自动控制方法生长晶体毛坯共计138个,晶体直径达标率为99.3%,等径部分长度达标率为53.6%,晶体生长良品率为88.4%。本文还讨论了影响晶体等径部分长度达标率的若干工艺因素。
来源：2021年第2期
《人工晶体学报》期刊编辑部
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