人工晶体学报

作者：蒋冲, 王一, 丁召, 黄延彬, 罗子江, 李志宏, 李耳士, 郭祥

单位：1.贵州大学大数据与信息工程学院,贵阳 550025;；2.贵州省微纳电子与软件技术重点实验室,贵阳 550025;；3.半导体功率器件可靠性教育部工程研究中心,贵阳 550025;；4.贵州财经大学信息学院,贵阳 550025

关键词：成核生长,团簇的扩散动力学,Ⅲ-Ⅴ族半导体,分子束外延,衬底温度,沉积速率,铝液滴,

基金：国家自然科学基金(61564002,11664005);贵州省科技计划(黔科合基础1055);半导体功率器件可靠性教育部研究中心开放基金(ERCME-KFJJ2019-(07))

量子点的性质主要由其密度及尺寸参数控制,而原子在衬底上的成核运动又决定了量子点的密度、直径、高度等参数,因此研究原子的扩散成核过程对自组装制备量子点具有重要意义。本文通过分子束外延生长技术研究了GaAs(001)表面金属铝液滴的成核过程,发现衬底温度和金属铝沉积速率的变化直接影响了液滴的尺寸、密度以及形状等特征。根据经典成核理论分析GaAs(001)表面金属铝液滴空间分布与几何结构的演化规律,推导得出表面金属铝液滴密度与衬底温度、金属铝沉积速率的关系方程。在此基础上,进一步计算得出液滴形成过程中未成核态、临界成核态、成核态三种亚稳态所包含的最小原子数分别为1个、2个、5个。

来源：2021年第2期

《人工晶体学报》期刊编辑部

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