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国内刊号:11-2637/O7
国际刊号:1000-985X
发布日期:
作者:蒋刚, 邓旭聪, 赵明
单位:1.国网广安供电公司,广安 638000;;2.四川大学电子信息学院,成都 610065
关键词:双向,低触发电压,横向晶闸管,放电管,触发特性,电参数,
基金:国网广安供电公司资助项目(521916160001)
依据触发电压VS、触发电流IS、维持电流IH及触发电压、维持电流高低温变化率指标要求,利用Silvaco-TCAD半导体器件仿真软件完成了双向低触发电压横向晶闸管(SCR)放电管的设计。详细分析了对触发特性产生显著影响的结构参数(N-衬底区、寄生PNP晶体管P-集电区、寄生NPN晶体管P-基区、N+阴极区、N+触发区、寄生PNP晶体管P-集电区与寄生NPN晶体管P-基区间距、寄生NPN晶体管表面基区宽度)对器件输出I-V特性及抗瞬态电流烧毁能力的影响。根据设计得到的器件结构参数,绘制版图、制定双向低触发电压横向SCR放电管工艺方案并进行试制。通过实际流片,对关键的设计及工艺进行攻关,研制出样片触发电压VS、触发电流IS、维持电流IH及触发电压、维持电流高低温变化率完全满足电参数指标要求。
来源:2021年第2期
《人工晶体学报》期刊编辑部
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