人工晶体学报

作者：魏凯峰, 刘大伟, 倪玉凤, 张婷, 刘军保, 张天杰, 杨露

单位：国家电投集团西安太阳能电力有限公司,西安 710000

关键词：光注入,退火,钝化膜,对称结构,多晶硅,温度,同心圆,

N型隧穿氧化层钝化接触(Tunnel Oxide Passivating Contacts,TOPCon)太阳能电池完成印刷烧结后,再经过光注入,效率有明显提升,主要表现在Voc(开路电压)及FF(填充因子)的提升。其机理在于通过温度和光照强度调节费米能级变化,控制H总量及价态来提高钝化性能。钝化膜层的质量、硅基体掺杂浓度、光注入退火时的工艺温度等对光注入退火工艺提升效率有很大影响。实验证明转换效率越低的电池片经过光注入后效率提升幅度越大;转换效率越高的电池片缺陷会更小,经过光注入退火工艺后几乎无增益。另外同心圆在经过光注入退火工艺后会明显消除。本文主要研究温度、光强、基体电阻率、正表面金属接触面积大小、poly-Si(多晶硅)厚度对光注入退火工艺增效的影响。

来源：2021年第1期

《人工晶体学报》期刊编辑部

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