人工晶体学报

作者：李伟, 施玉书, 李琪, 黄鹭, 李适, 高思田

单位：中国计量科学研究院,北京 100029

关键词：单晶硅,晶格间距,X射线干涉仪,晶格比较仪,纳米计量,

基金：国家重点研发计划(2016YFF0200404);国家自然科学基金(11975259)

单晶硅晶格间距是许多重要物理常数测量的基础。本文介绍了硅晶格间距测量技术的发展历程,包括X射线干涉仪直接测量和晶格比较仪间接测量两种方法,以及影响测量结果不确定度的关键因素。得益于晶格间距测量的进展,在纳米尺度,硅晶格间距被国际计量局(BIPM)批准成为新的米定义复现形式。最后介绍了硅晶格在计量学中的应用,以及基于硅晶格实现纳米几何量测量的溯源体系的研究趋势。

来源：2021年第1期

《人工晶体学报》期刊编辑部

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