人工晶体学报

作者：李耳士;黄延彬;郭祥;王一;罗子江;李志宏;蒋冲;丁召

单位：贵州大学大数据与信息工程学院,贵阳 550025;半导体功率器件可靠性教育部工程研究中心,贵阳 550025;贵州省微纳电子与软件技术重点实验室,贵阳 550025;半导体功率器件可靠性教育部工程研究中心,贵阳 550025;贵州省微纳电子与软件技术重点实验室,贵阳 550025;贵州财经大学信息学院,贵阳 550025

关键词：铝液滴;熟化;形貌;液滴外延,

基金：(国家自然科学基金);(贵州省科学技术基金)

为探究Al液滴在GaAs表面的熟化行为,利用液滴外延法在GaAs衬底表面制备Al液滴.在零As压环境下,通过控制退火时间有效控制Al液滴的生长、成核.结合热力学原理和晶体生长理论对样品形貌变化现象进行物理解释,构建出液滴形貌变化过程中熟化、刻蚀和扩散行为的基本模型.理论计算表明,液滴在熟化行为达到退火239 s的平衡点后,被向下刻蚀和向外扩散两个行为同时消耗.

来源：2020年第10期

《人工晶体学报》期刊编辑部

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