人工晶体学报

作者：王心洋;曹光宇;黄翀

单位：长沙新材料产业研究院有限公司,航天新材料湖南省重点实验室,长沙 410082;北京无线电计量测试研究所,北京 100039;长沙新材料产业研究院有限公司,航天新材料湖南省重点实验室,长沙 410082

关键词：微波等离子体化学气相沉积;微波系统;谐振腔;金刚石膜;透光率;杂质含量,

基金：长沙市科技计划项目(kq1706091)

微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法产生的等离子体密度高,材料外延生长过程可控性好且洁净度高,是制备高质量金刚石膜的重要方法.基于谐振腔理论和三维全波电磁场仿真,对MPCVD设备微波系统中谐振腔、模式转换器、样品托等影响微波传输效率及电场分布形态的部件进行设计和优化,并通过对微波传输系统关键参量的测试和监控,研究系统调试变量对金刚石外延生长的影响.基于自研的MPCVD设备,实现较高品质金刚石膜的合成,金刚石有效生长区域为?50 mm圆面,外延生长速度10～25μm/h,单晶样品的表征结果显示合成的金刚石透光率接近理论值,材料的结晶程度良好,氮、硅等杂质含量较低.

来源：2020年第10期

《人工晶体学报》期刊编辑部

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