人工晶体学报

作者：贾艳飞

单位：山西机电职业技术学院,长治 046011

关键词：PERC电池;背钝化;单晶;正交实验;转换效率,

为了实现单晶背钝化PERC电池最优化背钝化效果,找出最佳工艺条件,利用正交实验方法对主要工艺参数因素进行了最优化研究.采用掺镓P型单晶硅片经过背钝化后测试膜厚、折射率以及电池片最终的转化效率等电学性能参数.通过正交实验表明,背钝化的最优化工艺条件为0.25 mbar的工艺腔压强、360℃温度设定、2.8的NH3/SiH4比率、1500 W的微波功率,在该条件下电池的平均测试效率可达22.35;,且Voc以及Isc等电学性能指标均达到较高水平.

来源：2020年第9期

《人工晶体学报》期刊编辑部

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