人工晶体学报

作者：周社柱;马秀;冯光志;王慧明

单位：山西中电科新能源技术有限公司,太原,030024

关键词：多晶硅铸锭;真空系统;气体成分测定;异常检测;在线检测,

针对目前铸锭产品的品质效果缺乏有效及时的在线测试方法,本文提出了多晶硅铸锭生产气体在线检测系统.该系统通过对铸锭生产过程中排出的工艺性尾气——氩气进行干泵取样、增压测试、实时分析等技术,实现了在线式自动取样实时分析,超限报警的功能,可实时根据生产过程中炉腔内气氛的变化,提早发现铸锭炉的故障和异常,减少异常产品的出产率.通过后续电池数据的支撑,可确定设备漏水和漏气的极限值,达到精细化调控硅锭质量、危险预警的效果,为铸锭氩气回收系统做好预研的准备.

来源：2020年第6期

《人工晶体学报》期刊编辑部

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