人工晶体学报

作者：张佃平;李进;康少付;苏少鹏;李杨

单位：宁夏大学机械工程学院,银川,750021;宁夏光伏材料重点实验室,银川,750021

关键词：C/C复合纤维;高温;异化;机理,

基金：国家自然科学基金(51962030)

随着直拉法热场尺寸的不断增大,单晶硅生产过程中已经大批量采用C/C复合埚帮替代石墨埚帮.但是,由于埚帮处在高温富Si环境中,经过一定时间后碳纤维出现异化现象,致使埚帮失效,高频次的更换增加了企业的生产成本.研究中利用XRD对碳纤维埚帮异化不同阶段物相进行分析,通过SEM对异化后的埚帮形貌进行观察,发现处在高温富Si氛围中的碳纤维变成了碳化硅.通过对单晶硅炉内流场和温度场分析,揭示了碳化硅的形成过程和机理.结合碳纤维硅化过程和反应机理分析了埚帮异化的主要原因,为后续高寿命埚帮设计和延长其使用寿命提供增强策略.

来源：2020年第4期

《人工晶体学报》期刊编辑部

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