人工晶体学报

作者：张海亮;张明福;韩杰才;侯永昭;杨雯

单位：中国电子信息产业发展研究院,材料工业研究所,北京 100846;哈尔滨工业大学,复合材料与结构研究所,哈尔滨 150080;山东理工大学材料科学与工程学院,淄博,255000;山东理工大学交通与车辆工程学院,淄博,255000

关键词：离子注入;蓝宝石;表面改性,

基金：National Natural Science Foundation of China(11002043);Fundamental Research Funds for the Central Universities(HIT. KLOF. 2010028)

离子注入已被证明是改善蓝宝石光学和机械表面性能的一种可靠方法.本文选择不同能量和剂量的镁/钛离子注入蓝宝石.利用TRIM(Transport of Ion Matter)程序分析了镁/钛离子在蓝宝石晶体中的射程分布.利用拉曼光谱和掠入射X射线衍射分析了损伤层深度和微结构变化.离子注入结果显示,蓝宝石的纳米硬度、纳米划痕和红外性能等均呈现出可调节的特性.

来源：2020年第2期

《人工晶体学报》期刊编辑部

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