人工晶体学报

作者：魏乃光;蒋立朋;李冬旭;杨海;袁琴;郭立;田智瑞;宋姿霖;刘晓华;黎建明;张鹏飞

单位：有研科技集团,有研国晶辉新材料有限公司,三河065201

关键词：化学气相沉积法(CVD);ZnSe;缺陷,

本文介绍了ZnSe晶体的制备方法及其重要应用背景,系统地总结了化学气相沉积法(CVD)制备ZnSe过程中产生的各类缺陷,包括云雾、孔洞和微裂纹、夹杂、分层和胞状物.采用SEM、体视显微镜、金相显微镜、傅里叶光谱仪等方法对缺陷进行了表征.结合国内外文献和检测结果,对各类缺陷可能的产生机理及抑制方法进行了阐述与分析.

来源：2020年第1期

《人工晶体学报》期刊编辑部

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