人工晶体学报

作者：马睿;王建彬;周超群;童勇强;徐义亮

单位：安徽工程大学机械与汽车工程学院,芜湖,241000;芜湖恒信汽车内饰制造有限公司,芜湖,241009

关键词：化学腐蚀法;亚表面损伤;蓝宝石;固结磨料,

基金：安徽省自然科学基金(1708085QE127);安徽省高校优秀青年人才支持计划重点项目(gxyqZD2019051);校国家基金预研项目(2017yyzr06);安徽工程大学2018年度中青年拔尖人才培养计划;南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室开放基金;安徽工程大学研究生教育创新基金

化学腐蚀法是一种简单有效的蓝宝石亚表面损伤深度检测方法.利用高温熔融KOH对蓝宝石工件的化学腐蚀作用,开展W40固结磨料研磨后蓝宝石工件的化学腐蚀实验,设计耐高温陶瓷夹具固定腐蚀液中工件位置,并用称重法测算腐蚀速率和腐蚀厚度,揭示亚表面损伤的形成机理.结果表明:采用陶瓷夹具固定工件可使腐蚀面积的均匀性大大提高,平均腐蚀速率提高9.21;左右.蓝宝石工件的腐蚀速率和腐蚀厚度逐渐减小,最后趋于稳定,其亚表面损伤深度约为8.41 μm.天平称重法可有效提高腐蚀速率和腐蚀厚度的测算精度,为蓝宝石亚表面损伤的有效测量提供帮助.

来源：2019年第12期

《人工晶体学报》期刊编辑部

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