人工晶体学报

作者：戴生伢;黄振进;柳祝平;高长有;王东海;庞旭

单位：南京理工宇龙新材料科技股份有限公司,南京,211212;元亮科技有限公司,无锡,214000;江苏京晶光电科技有限公司,常州,213314;同济大学物理科学与工程学院,上海,200092

关键词：蓝宝石晶棒;“一步法”退火;翘曲度;弯曲度;透过率,

温度梯度法(TGT)生长蓝宝石晶体不可避免出现应力.为提高晶体的品质和加工质量需进行释放应力去色退火处理.使用现有“两步法”退火工艺,由于其退火温度低且速度慢,需要付出较高的时间成本和退火工艺的成本.现提出了“一步法”退火工艺,即在1750～ 1800℃空气气氛中直接进行高温退火.蓝宝石晶棒经“一步法”退火处理后,其内部澄清透明,且晶片加工终检的翘曲度(warp)和弯曲度(bow)的不良率较未退火前分别降低了100;和70;.蓝宝石晶棒的高温退火处理效果明显,可在其他晶体材料中尝试推广.

来源：2019年第10期

《人工晶体学报》期刊编辑部

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