人工晶体学报

作者：郑忱煜;徐德辉;熊斌

单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室,上海 200050;中国科学院大学,北京 100049;中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室,上海,200050

关键词：声子晶体;微机电系统;禁带,

基金：国家自然科学基金(51675516)

声子晶体是一种周期复合人工超材料.声子晶体具有独有的声学特性-声学禁带,使其在声波控制和传输领域具有极强的应用潜力.利用微机械加工工艺制备的硅基声子晶体器件,可在微机电系统中实现高频弹性波的定向传输和控制,以及对弹性波能量的局域放大.设计了两种基于MEMS工艺的器件,分别用于实现功分器和谐振器的功能.内容覆盖了硅基声子晶体器件的背景、原理、设计、制造和表征等方面.

来源：2019年第8期

《人工晶体学报》期刊编辑部

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