人工晶体学报

作者：赵学平;张铭;白朴存;侯小虎;刘飞;严辉

单位：内蒙古工业大学材料科学与工程学院,呼和浩特,010051;北京工业大学材料科学与工程学院,北京,100124

关键词：CuAlO2薄膜;射频磁控溅射;光电性能,

基金：国家自然科学基金(11762014);内蒙古工业大学科学研究项目(ZY201808)

以单相多晶Cu1+x Al1-x O2陶瓷做靶材,采用射频磁控溅射方法在石英衬底上沉积了Cu过量的Cu1+x Al1-x O2(0≤x≤0.04)薄膜.通过X射线衍射(XRD)、紫外吸收光谱以及电导率的测试,表征了不同含Cu量Cu1+x Al1-x O2薄膜的结构与光电性能.结果表明,沉积态薄膜经退火处理后,由非晶转变为具有铜铁矿结构的纯相Cu1+x Al1-x O2;退火态薄膜在可见光区域的平均透过率约为55;,平均可见光透过率不受Cu含量的影响;退火态薄膜样品的室温电导率随Cu含量的增加而增大,Cu1.04 Al0.96 O2的室温电导率最高,为1.22×10-2 S/cm;在近室温区(200～300 K),退火态薄膜均很好地符合Arrhenius热激活模式.

来源：2019年第4期

《人工晶体学报》期刊编辑部

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