人工晶体学报

作者：刘盛浦;孙玉坤;郭兴忠;吴兰

单位：浙江博达光电有限公司,杭州 311305;浙江博达光电材料与器件研究院,杭州 311305;浙江博达光电材料与器件研究院,杭州 311305;浙江大学浙江加州国际纳米技术研究院,杭州 310058

关键词：石英晶体;生长工艺;单面生长,

基金：国家重点研发计划(2016YFB0401305);青山湖科技城创新载体建设项目

采用水热温差法,研发了一种高品质光学级单面生长石英晶体技术,分析了光学级石英晶体单面生长原理和关键技术,并对所制备的光学级单面生长石英晶体的性能进行了测试与表征.研究结果表明:采用单面生长技术能极大地减少石英晶体内部缺陷,制备出的石英晶体具有极高的品质,其中包裹体指标、条纹指标达和光学均匀性分别达到国家标准GB/T7895-2008中的Ia级、1级和A级,达到了目前国家标准中的顶尖水平.

来源：2019年第1期

《人工晶体学报》期刊编辑部

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