人工晶体学报

作者：李有斌;张胜涛;何银凤;梁世民;韩金豆;付昊;赵丽丽

单位：青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司,西宁,810000;哈尔滨工业大学化学与化工学院,哈尔滨,150001

关键词：电子级多晶硅;化学气相沉积;数值模拟;气体循环,

利用PolySim软件建立了国内电子级多晶硅9对棒现役还原炉的三维模型,对还原炉内部的流动、传热进行了数值模拟,得到还原炉内部流场、温场以及硅棒表面温度的分布情况,指出硅棒桥接附近气体流速较小、气体温度及硅棒表面温度过高是该区域沉积不均匀的主要原因.和实际生产结果对比表明,模拟计算数据的误差不超过5;.

来源：2019年第1期

《人工晶体学报》期刊编辑部

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